Oxalumina Ceramic Suction Cup Plate er et revolutionerende produkt inden for præcisionshåndteringssystemer. Den er lavet af α-aluminiumoxidkeramik (α-Al₂O₃) med en renhed på ≥99,9%, kombineret med en konstrueret porøs struktur for at opnå optimal vakuumfordeling. Sammenlignet med traditionelle metal- eller polymersugekopper eliminerer denne keramiske løsning fuldstændig risikoen for partikelforurening, samtidig med at den er i stand til at modstå ekstreme temperaturer (1750°C kontinuerlig drift) og korrosive miljøer. Dens unikke mikrostruktur (2-5μm ensartet porestørrelse, 3,89g/cm³ tæthed) sikrer submikron fladhed (overfladeruhed Ra≤0,1μm), hvilket gør den til den eneste professionelle sugekopplatform, der kan håndtere 300mm halvlederwafers med en sugenøjagtighed på ±0,1μm.
1. Gennembrud i materialeydelse
Termisk stabilitet: ingen deformation i 800°C termiske chokcyklusser og en levetid, der er 5 gange længere end den for legerede sugekopper (procesmiljø med høj temperatur).
Kemisk resistens: 1-års vægttab på 30 % svovlsyrenedsænkning er mindre end 0,01 g, velegnet til batterielektrolytdrift og kemisk dampaflejringsproces.
Isoleringsydelse: Nedbrydningsfeltstyrken når 40kV/mm, hvilket sikrer sikker drift i plasmaætsekammeret.
2. Engineering design innovation
Porøsitetskontrol: 40% porøsitet opnås gennem gelsprøjtestøbningsproces, og 1-3μm porevægstruktur forhindrer ultratynde dele (≤50μm) fra adsorption og deformation.
Intelligent arkitektur: Indbygget temperatursensor understøtter termisk styring i realtid fra -196 ℃ til omgivelser med ultrahøj temperatur.